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乾燥し、粉塵を含まないエア。
EC-B/Gシリーズ、ER-VW/Vシリーズには、エアドライヤ(露点-20℃程度)、エアフィルタ(メッシュサイズ0.01μm程度)の調質機器を通したエアを供給してください。
イオナイザ(静電気対策機器)
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