接触式変位センサ - 変位センサ(検査・判別・測定用センサ)

接触式変位センサに使用されている光学式リニアエンコーダは、固定側に取り付けられた固定スケールと移動側(測定対象物に接触するスピンドル部)に取り付けられたガラススケールからなり、それぞれ等しいピッチで格子目盛が印刷されています。またこれらのスケールを挟むように、LEDと受光素子が配置されています。

ガラススケールが移動すると、固定スケールの窓を通過する光は明暗を繰り返します。このとき、同じ周期で一定の位相差を持つ複数の正弦波信号が出力されるため、この信号をアンプで増幅しデジタル化します。

このとき、正弦波信号を分割することで高い分解能を得ることができます。この信号は一定移動間隔で出力されるため、この信号をカウントすることにより、移動量を測定します。