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スポット径(光学式変位センサ) - 変位センサ(検査・判別・測定用センサ)用語解説
スポット径 とは (光学式変位センサ)
スポット径は、一般に中心光強度の1/e2(13.5%)になるところで定義されます。
定義域外にも漏れ光があるため、検出ポイントの周囲が検出ポイントに比べて光の反射率が高い場合は、その影響を受ける場合があります。
その他の変位センサ(検査・判別・測定用センサ)用語
レーザ変位センサ・測長センサ・渦電流式変位センサの場合
- 分解能(レーザ変位センサ・測長センサ・渦電流式変位センサ)
- リニアリティ(直線性)
- 温度特性
- スポット径(光学式変位センサ)
- 測定中心距離(光学式変位センサ)
接触式変位センサの場合
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